特点
●可测定零件・基板由于加热而形成的膨胀及变形
●因为可以按照X-Y轴方向移动下方的激光变形计，所以实现了连续变形的测试
●可以将温度及时间任意设定19点、在其状态下确认变位测定
●适用专业用软件可以解析曲线数据・和变形测定数据
●通过结合录像观察系统、可以观察焊锡的溶化过程（选项）
【规格】
【本体装置规格】
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项目 |
规格 |
| 对象基板尺寸 |
长：70W×70L mm 高：保持面上 10mm以下 |
| 装置尺寸 |
652W×411D×425Hmm |
| 加热方式 |
上面：热风・远红外线辐射过热 下面：远红外线辐射加热 |
| 冷却方式 |
外部气体（氮气或空气）导入
冷却用流量调整弁付 |
| 电源 |
3相 200V 50/60Hz 1.5kVA |
| 外部气体 |
0.3～0.5MPa 100升/min (MAX) |
| 炉内氧气浓度 (氮气使用时) |
最低100ppm |
| 基板托盘 |
平托盘 |
| 上面加热 |
热风式：约675W(约75W×3本×3列)
※可以对标准管口进行偏差设定
红外线加热器：约300W |
| 下面加热 |
红外线加热器：约240W |
| 温度精度 |
5℃以内 (最大基板中央 50W×50L mm范围内) |
| 测定温度 |
常温～330℃ |
| 测定点数 |
3点 |
| 氮气供给机能 |
流量调整阀 ：100升/min |
| 重量 |
约50kg |
【计测机能规格】
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项目 |
规格 |
| 计测方法 |
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| 测定范围 |
X轴方向：最大70mm
Y轴方向：最大70mm
Z轴方向：标准点0～3mm |
| 变位计分辨能 |
最大0.2μm |
| X-Y轴驱动速度 |
最大45mm/s（加減速度除外） |
| 测定点 |
最大19点（以在任意的时间及温度内连续的计测指定范围） |
可通过摄像观察系统由于热压产生的彭胀，变形，采用激光变位计测定解析的试验装置。